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钛靶管

[ 信息发布:本站 | 发布时间:2017-03-17 | 浏览:397次 ]




纯金属及金属合金溅射靶材列表

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

分类

根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶

根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材



金属名称

含量

熔点

蒸发源

形状

2N6,4N,5N

1668

B

颗粒,片

2N6,3N

1453

EB

颗粒,片

2N5

1890

EB

颗粒,片

3N5

3410±20

EB

颗粒,片

3N5

2620

EB

颗粒,片

3N5

2996

EB

颗粒,片

3N5

2468

EB

颗粒,片

3N8

1495

EB

颗粒,片