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旋转靶块

[ 信息发布:本站 | 发布时间:2017-03-17 | 浏览:323次 ]




纯金属及金属合金溅射靶材列表

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
分类
根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶
根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材等

产品名称

化学符号

含量

性质

钛溅射靶材

Ti

2N6,4N,5N

平面靶材,旋转靶材

镍溅射靶材

Ni

2N5, 3N

平面靶材,旋转靶材

锆溅射靶材

Zr

2N5

平面靶材,旋转靶材

钨溅射靶材

W

3N5

平面靶材,旋转靶材

钼溅射靶材

Mo

3N5

平面靶材,旋转靶材

钽溅射靶材

Ta

3N5, 4N

平面靶材,旋转靶材

铌溅射靶材

Nb

3N5, 4N

平面靶材,旋转靶材

铜溅射靶材

Cu

3N8

平面靶材,旋转靶材

铝溅射靶材

Al

4N

平面靶材,旋转靶材

钛铝合金溅射靶材

Ti + Al

2N7

平面靶材,旋转靶材

钼铌合金溅射靶材

Mo+Nb

3N5

平面靶材,旋转靶材

钨钼合金溅射靶材

W+Mo

3N5

平面靶材,旋转靶材

铌钨合金溅射靶材

Nb521

3N5

平面靶材,旋转靶材

铌钛合金溅射靶材

Nb+Ti

2N5

平面靶材,旋转靶材

铌锆合金溅射靶材

Nb+Ti

2N5

平面靶材,旋转靶材